レーザー加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小野尚純 , 奥貫佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-131350
公開番号（公開出願番号）：特開2005-313182
出願日： 2004年04月27日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：

【課題】板状の被加工物の厚さにバラツキがあっても被加工物における所望位置に効率よく加工を施すことができるレーザー加工装置を提供する。【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、レーザー光線発振手段と該レーザー光線発振手段によって発振されたレーザー光線を集光してチャックテーブルに保持された被加工物に照射するための対物レンズを備えた集光器とを有するレーザー光線照射手段とを具備するレーザー加工装置であって、レーザー光線発振手段と対物レンズとの間にレーザー光線発振手段によって発振されたレーザー光線を透過する第1のレンズと、第1のレンズを透過したレーザー光線を透過する第2のレンズと、第1のレンズと第2のレンズとの間の光路長を変移せしめる光路長変移手段が配設されている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと、レーザー光線発振手段と該レーザー光線発振手段によって発振されたレーザー光線を集光して該チャックテーブルに保持された被加工物に照射するための対物レンズを備えた集光器とを有するレーザー光線照射手段と、該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段とを加工送り方向に相対移動せしめる加工送り手段と、を具備するレーザー加工装置において、該レーザー光線発振手段と該対物レンズとの間に該対物レンズが集光するレーザー光線の集光点位置を変移させる集光点変移手段が配設されており、該集光点変移手段は、該レーザー光線発振手段によって発振されたレーザー光線を透過する第1のレンズと、該第1のレンズを透過したレーザー光線を透過する第2のレンズと、該第1のレンズと該第2のレンズとの間の光路長を変移せしめる光路長変移手段とを備えている、ことを特徴とするレーザー加工装置。

IPC (4件)：

B23K26/04 , B23K26/00 , B23K26/08 , H01L21/301

FI (4件)：

B23K26/04 C , B23K26/00 M , B23K26/08 H , H01L21/78 B

Fターム (13件)：

4E068CA03 , 4E068CA04 , 4E068CA05 , 4E068CA07 , 4E068CA11 , 4E068CA15 , 4E068CB02 , 4E068CC01 , 4E068CC02 , 4E068CC06 , 4E068CD12 , 4E068CE05 , 4E068DA10

引用特許：

出願人引用 (8件)

特許第3408805号公報
ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-368502 出願人：株式会社東京精密
情報処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-099582 出願人：船井電機株式会社

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