特許
J-GLOBAL ID：200903040074960097
静電型アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-014759
公開番号（公開出願番号）：特開2003-219663
出願日： 2002年01月23日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：
【要約】【課題】 複数の駆動電極によって可動体を順次変位させることにより、可動体の剛性と変位量とを大きく設定し、アクチュエータの性能を向上させる。【解決手段】 可動体固定部3には、可動側連結梁5を介して可動体4をX軸方向に変位可能に連結する。また、駆動電極固定部9には、駆動側連結梁12,13を介して駆動電極支持部10,11を近接,離間可能に接続する。また、可動電極6,7,8と駆動電極14,15,16との間の隙間寸法a,b,cを順次大きく設定する。そして、アクチュエータ1の作動時には、電極6,14間、電極7,15間、電極8,16間に順次発生する静電力により可動体4を複数段階で変位させる。これにより、可動体4に高い剛性(共振周波数)を与えて動作を安定化できると共に、その変位量を大きく設定することができる。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板に設けられた可動体固定部と、前記基板と間隔をもって配置された可動体と、前記可動体固定部に対して該可動体が近接,離間可能に変位するように連結する可動側連結梁と、前記可動体にその変位方向に間隔をもって設けられた複数の可動電極と、前記基板に設けられた駆動電極固定部と、該駆動電極固定部と前記可動体の変位方向に並んで配置された1個または複数個の駆動電極支持部と、前記駆動電極固定部と一の駆動電極支持部との間及び前記隣合う駆動電極支持部の間を近接,離間可能に変位するように連結する複数の駆動側連結梁と、前記駆動電極固定部と駆動電極支持部とに設けられ前記各可動電極と変位方向に隙間をもってそれぞれ対向する複数の駆動電極とにより構成してなる静電型アクチュエータ。
IPC (3件)：
H02N 1/00
, B81B 3/00
, F16H 49/00
H02N 1/00
, B81B 3/00
, F16H 49/00 Z
