特許
J-GLOBAL ID：200903084667007717

マイクロアクチュエ-タ

発明者：
鈴木 健一郎

鈴木 健一郎 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-118245
公開番号（公開出願番号）：特開平11-356065
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 情報の読書きの誤差が少なく信頼性を向上させる。【解決手段】 左側の固定子41を第1固定子41aと、第2固定子41b,41cとで構成し、右側の固定子42を第1固定子42aと第2固定子42b,42cとで構成する。可動子3をばね4によって支持し、各固定子41,42の電極を可動子3の電極と微小な間隔を保って対向させる。各固定子41,42の第1、第2固定子にそれぞれ異なった電圧を印加する。
請求項（抜粋）：
基板上に設けられた固定子、可動子、およびばね固定台を介して前記可動子を基板上に支持するばねを備え、前記可動子が基板に平行に動作するマイクロアクチュエータにおいて、前記固定子をそれぞれ第1固定子と、第2固定子とからなる2組の固定子で構成し、各組の固定子の第1固定子を前記可動子の移動方向の一方の半分側にそれぞれ設け、第2固定子を前記可動子の移動方向の他方の半分側にそれぞれ設け、各々の固定子に対して可動子に設けられた各々の電極が微小な間隔で相対することを特徴とするマイクロアクチュエータ。
IPC (3件)：
H02N 1/00 ,  G11B 21/02 601 ,  H01L 27/01 311
FI (3件)：
H02N 1/00 ,  G11B 21/02 601 G ,  H01L 27/01 311
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
  • 特開平4-378479
  • 特開平4-248376
  • 加速度センサー
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-299195   出願人：松本佳宣, 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
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