特許

J-GLOBAL ID：200903040104986169

2種混合気体の濃度測定装置

発明者： 北條 久男 ,  小林 太吉 ,  黒河 明 ,  一村 信吾 ,  野中 秀彦
出願人/特許権者： バキュームプロダクツ株式会社 ,  独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (3件)： 井上 一 ,  布施 行夫 ,  大渕 美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-010118
公開番号（公開出願番号）：特開2004-219386
出願日： 2003年01月17日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：

【課題】同一タイプの2つの圧力測定子を用いることで、装置構成を簡易とし、かつ各圧力測定子からのデータの取り込みを簡易化できる2種混合気体の濃度測定装置を提供すること。【解決手段】構成気体が既知で濃度が未知の2種混合気体の濃度測定装置は、第1,第2の圧力測定子(20,40)を有する。第1の圧力測定子(20)は、配管(10)に供給される混合気体の圧力に応じて変位し、かつ、その混合気体の物性値に敏感な圧力測定子である。第2の圧力測定子(40)は、ベローズ容器(30)内に配置される。このベローズ容器(30)は、物性値が実質的に変動しない既知の気体が内部に収容され、混合気体の圧力に応じて体積変化する。第2の圧力測定子(40)は、ベローズ容器(30)内の気体の圧力に応じて変位し、かつその容器(30)内の気体の物性値に敏感な圧力測定子である。この第1,第2の圧力測定子(20,40)の出力に基づいて、混合気体の濃度が測定される。を有する【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

構成気体が既知で濃度が未知の2種混合気体の濃度測定装置において、 前記混合気体の圧力に応じて変位し、かつ、前記混合気体の物性値に敏感な第1の圧力測定子と、 物性値が実質的に変動しない既知の気体が内部に収容され、前記混合気体の圧力に応じて体積変化する容器と、 前記容器内に配置され、前記容器内の気体の圧力に応じて変位し、かつ前記容器内の気体の物性値に敏感な第2の圧力測定子と、 前記第1,第2の圧力測定子の出力に基づいて、前記混合気体の濃度を測定する濃度検出部と、を有することを特徴とする2種混合気体の濃度測定装置。

IPC (3件)：

G01N7/00 ,  G01L9/00 ,  G01N9/00

FI (3件)：

G01N7/00 C ,  G01L9/00 C ,  G01N9/00 E

Fターム (10件)：

2F055AA39 ,  2F055BB01 ,  2F055CC41 ,  2F055CC43 ,  2F055CC48 ,  2F055CC51 ,  2F055DD20 ,  2F055EE40 ,  2F055FF43 ,  2F055GG11

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特許第3336384号
  
• 特開昭60-238742
  
• 特公平7-097060
  
• ガス検知方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-112323   出願人：日本電信電話株式会社