エレクトロニクス被覆組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-027080
公開番号（公開出願番号）：特開平10-017383
出願日： 1997年02月10日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：

【要約】【課題】貯蔵寿命が長く、粘稠で良好な品質を有する被膜を形成するケイ素含有セラミック前駆物質溶液を提供する。【解決手段】短鎖線状シロキサン中に溶解したケイ素含有セラミック前駆物質を含む被覆組成物が開示されている。

請求項（抜粋）：

1〜50wt%のケイ素含有セラミック前駆物質、並びに50〜99wt%の構造R3 -(SiR2 -O)n -R3 (ここに、各Rは独立に、水素原子、炭素原子数1〜6のアルキル基、アルケニル基及びアリール基からなる群から選ばれ、nは1〜6である)を有する線状シロキサンを含む被覆組成物。

IPC (4件)：

C04B 41/87 , C07F 7/08 , H01L 21/316 , C09D183/04

FI (4件)：

C04B 41/87 Z , C07F 7/08 X , H01L 21/316 G , C09D183/04

引用特許：

審査官引用 (5件)

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