電子ビーム検査装置の試料汚染測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：春日讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-018935
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221413
出願日： 2001年01月26日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】電子ビーム検査装置の観察面に付着する汚染物の付着量を定量的に測定可能な電子ビーム検査装置の試料汚染測定方法を提供する。【解決手段】試料室4に置かれた試料16に電子銃室1の電子銃7から電子線B1を照射し、上記試料から発生する二次電子B2を検出して、上記試料の寸法測定を行う電子ビーム検査装置を用いる。この装置により、試料16の表面上に設けた凸形状部もしくは凹形状部に電子線を照射し、電子線照射面に付着する汚染物により変化した凸形状または凹形状の寸法から、汚染物の付着量を測定する。

請求項（抜粋）：

試料室に置かれた試料に電子銃室の電子銃から電子線を照射し、上記試料から発生する二次電子を検出して、上記試料の寸法測定を行う電子ビーム検査装置を用い、上記試料の表面上に設けた凸形状部もしくは凹形状部に電子線を照射し、電子線照射面に付着する汚染物により変化した凸形状または凹形状の寸法から、汚染物の付着量を測定することを特徴とする試料汚染測定方法。

IPC (5件)：

G01B 15/00 , G21K 5/04 , H01J 37/28 , H01L 21/66 , G01N 23/225

FI (5件)：

G01B 15/00 B , G21K 5/04 M , H01J 37/28 B , H01L 21/66 J , G01N 23/225

Fターム (37件)：

2F067AA21 , 2F067AA45 , 2F067AA54 , 2F067AA62 , 2F067BB01 , 2F067BB04 , 2F067CC17 , 2F067EE16 , 2F067EE18 , 2F067HH06 , 2F067HH13 , 2F067JJ05 , 2F067KK04 , 2F067KK08 , 2F067RR24 , 2F067RR30 , 2F067TT02 , 2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001BA15 , 2G001CA03 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA16 , 2G001KA01 , 2G001KA11 , 2G001LA04 , 2G001PA07 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA41 , 4M106DB05 , 4M106DJ23 , 4M106DJ40 , 5C033UU04 , 5C033UU05 , 5C033UU06

引用特許：

審査官引用 (4件)

電子ビーム検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-125603 出願人：株式会社日立製作所
電子線測長方法及び電子線測長装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-211301 出願人：三菱電機株式会社
測長用電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-326819 出願人：株式会社日立製作所

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