特許
J-GLOBAL ID：200903040236427770

オゾン水製造装置

発明者：
栢原 弘

栢原 弘 について

, 
吉田 浩

吉田 浩 について

, 
樋口 雅晴

樋口 雅晴 について


出願人/特許権者：
株式会社石森製作所

株式会社石森製作所 について


代理人 (1件)： 山口 哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-183248
公開番号（公開出願番号）：特開2000-000579
出願日： 1998年06月16日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：
【要約】【課題】 高純度のオゾン水を間欠的に製造可能とする。【解決手段】 オゾン水製造装置23は、散気筒24と、オゾンガス供給管25と、純水供給管26と、オゾン水送出管27と、加圧手段と、を備える。オゾン水を製造する場合、先ず、純水供給管26を介して散気筒24内に純水を供給する。次いでオゾンガス供給管25を介して散気筒24内にオゾンガスを供給する。純水中にオゾンガスが溶解することによりオゾン水が得られる。このオゾン水を送り出す場合、加圧手段を作動させる。これにより、オゾン水送出管27からオゾン水が送り出される。各管25、26、27には、それぞれ第一、第二、第三の各自動開閉弁32、33、34を設けている。これら各自動開閉弁32、33、34の開閉と加圧装置の作動及び作動停止とをマイクロコンピュータにより制御する。これにより、間欠的にオゾン水を製造し供給可能となる。
請求項（抜粋）：
略鉛直に立設された有底中空筒状の散気筒と、その一端をオゾンガス源に接続するとともにその他端を上記散気筒内部下端部に配設したディフューザに接続し、その途中に第一の自動開閉弁を設けたオゾンガス供給管と、その一端を純水源に接続するとともにその他端を上記散気筒に接続し、その途中に第二の自動開閉弁を設けた純水供給管と、その一端を上記散気筒の下端部に接続するとともにその途中に第三の自動開閉弁を設けたオゾン水送出管と、その一端を上記散気筒の上端部に接続するとともに中間部に第四の自動開閉弁を設けた排気管と、同じく上記散気筒の上端部に設けられ、該散気筒内部を加圧自在な加圧手段と、上記散気筒内で製造されたオゾン水の濃度を計測するためのオゾン水濃度計測手段と、上記散気筒内の液位を計測するための液位計測手段と、少なくとも上記第一、第二、第三、第四の各自動開閉弁の開閉と上記加圧手段の作動及び作動停止とを制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする、オゾン水製造装置。
IPC (8件)：
C02F 1/78 ,  C01B 13/10 ,  C02F 1/50 531 ,  C02F 1/50 540 ,  C02F 1/50 550 ,  C02F 1/50 ,  H01L 21/304 647 ,  H01L 21/304 648
FI (8件)：
C02F 1/78 ,  C01B 13/10 D ,  C02F 1/50 531 R ,  C02F 1/50 540 A ,  C02F 1/50 550 D ,  C02F 1/50 550 L ,  H01L 21/304 647 Z ,  H01L 21/304 648 K
Fターム (4件)：
4D050AA12 ,  4D050AB11 ,  4D050BB02 ,  4G042CE01
引用特許：
審査官引用 (10件)
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