読出回路上にハイブリッドされた孤立画素及び蓄積グリッドを有する光検出器アレイ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-106944
公開番号（公開出願番号）：特開2003-347536
出願日： 2003年04月10日
公開日（公表日）： 2003年12月05日
要約：

【要約】【課題】集光するために準備された領域を有しかつ電荷の蓄積のための容量性グリッドを用いて検出を実施する光検出器アレイを提供することである。【解決手段】本発明は、読出回路(30)上にハイブリッドされ、半導体材料ウェハーから作製され、一の検出受光面とハイブリッド面と称する一の反対側の面とを有する光検出器アレイ(10,50)に関するものである。ウェハーが画素(12)に分割され、各画素は光検出器を成し、画素はウェハー内に形成された分離手段によって互いに分離されかつ光検出器用のフォトグリッドを備え、各光検出器は光検出器アレイを読出回路にハイブリッドするようにハイブリッド面上に接続パッド(18)を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

読出回路上にハイブリッドされかつ半導体材料ウェハー(11,51)から作製されかつ一の検出受光面とハイブリッド面と称する一の反対側の面とを有する光検出器アレイ(10,50)であって、ウェハーが画素(12,52)に分割され、各画素は光検出器を成し、画素はウェハー内に形成された分離手段によって互いに分離されかつ光検出器用のフォトグリッドを備え、各光検出器は光検出器アレイを読出回路にハイブリッドするようにハイブリッド面上に接続パッド(18,58)を有することを特徴とする光検出器アレイ。

IPC (2件)：

H01L 27/146 , H01L 31/10

FI (2件)：

H01L 27/14 F , H01L 31/10 H

Fターム (18件)：

4M118BA19 , 4M118FA06 , 4M118FA38 , 4M118FB09 , 4M118FB16 , 4M118GA09 , 4M118GD15 , 4M118HA23 , 4M118HA24 , 4M118HA31 , 5F049MA01 , 5F049NA09 , 5F049NB05 , 5F049RA04 , 5F049RA08 , 5F049SE11 , 5F049UA01 , 5F049UA20

引用特許：

審査官引用 (7件)

赤外線検出器とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-147162 出願人：三菱電機株式会社
特開平1-205465
特開昭64-013766

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