感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に用いられる化合物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：高松猛 , 矢澤清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-030640
公開番号（公開出願番号）：特開2009-192618
出願日： 2008年02月12日
公開日（公表日）： 2009年08月27日
要約：

【課題】通常露光(ドライ露光)、液浸露光において、現像欠陥が少なく、ラインエッジラフネスが良好が良好である、感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に用いられる化合物を提供する。【解決手段】(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂及び(A’)特定の一般式で表され化合物に対応するスルホニウム構造を有する樹脂を含有する感光性組成物、該感光性組成物に用いられる化合物及び該感光性組成物を用いたパターン形成方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂及び (A’)下記一般式(1)で表される化合物に対応するスルホニウム構造S+(Y1)(Y2)(Y3)を有する繰り返し単位(a0)を有する樹脂を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 , G03F 7/039 , G03F 7/11 , H01L 21/027 , C08F 20/10

FI (5件)：

G03F7/004 503A , G03F7/039 601 , G03F7/11 501 , H01L21/30 502R , C08F20/10

Fターム (27件)：

2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BF02 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 2H025DA03 , 2H025DA34 , 2H025FA17 , 4J100AJ02S , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100BA03Q , 4J100BA04S , 4J100BA40P , 4J100BC04R , 4J100BC07S , 4J100BC09Q , 4J100BC09R , 4J100BC53P , 4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開昭57-153433号公報
国際公開第07-069640号パンフレット
パターン形成方法及びその露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-008136 出願人：株式会社日立製作所

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