特許
J-GLOBAL ID：200903012545533891
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-219125
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048814
出願日： 1996年08月02日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 波長が220nm以下の放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、現像性、パターン形状等に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)酸の作用により酸解離性官能基が解離してアルカリ可溶性となる樹脂、および(B)ナフチルジアルキルスルホニウムトリフルオロメタンスルホネート類(但し、アルキル基の炭素数は1〜4)および/またはそれらの各置換誘導体(但し、置換基は、シアノ基、水酸基、ニトロ基、炭素数1〜4のアルキル基または炭素数1〜4のアルコキシル基)を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)酸の作用により酸解離性官能基が解離してアルカリ可溶性となる樹脂、および(B)下記式(1)で表される感放射線性酸発生剤【化1】〔式中、R1 は水素原子または水酸基を示し、R2 、R3 およびR4 のうち、一つは基【化2】(但し、R5 およびR6 は相互に独立に直鎖状あるいは分岐状のアルキル基を示す。)を示し、その他のものは相互に独立に水素原子、シアノ基、水酸基、ニトロ基、直鎖状あるいは分岐状のアルキル基、または直鎖状あるいは分岐状のアルコキシル基を示す。〕を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/004 503
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
G03F 7/004 503
, G03F 7/039 501
, H01L 21/30 502 R
