特許
J-GLOBAL ID：200903040423892711
パターン検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 中村 誠
, 河井 将次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-219878
公開番号（公開出願番号）：特開2004-061289
出願日： 2002年07月29日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：
【課題】試料上のパターン欠陥を検査することができ、且つ装置異常と欠陥検査の因果関係を認識することができ、装置稼動率及び信頼性の向上をはかる。【解決手段】試料上のパターン欠陥を検査するパターン検査装置において、試料に光を照射し、試料の透過光を検出して測定パターンデータを取得する観測データ生成部20と、設計データから基準パターンデータを生成する基準データ生成部40と、測定パターンデータと基準パターンデータとを比較してパターン欠陥の有無を判定する比較回路12と、光照射量及び試料設置空間の気圧を検出し、検出された状態が一定の範囲を外れたことを検知する異常監視部50と、装置状態が所定の範囲を外れたことの検知と同時刻に取得した測定パターンデータ及び基準パターンデータを、試料上の位置座標並びに該所定の範囲を外れた装置状態の種類及び検出値と同期して記憶するデータメモリ11とを備えた。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
被検査試料に光又は電子線を照射し、試料からの反射光,透過光又は2次電子を検出して測定パターンデータを取得し、取得された測定パターンデータを基準パターンデータと比較して試料上のパターン欠陥を検査するパターン検査装置であって、
装置状態を検出するために、前記光又は電子線の照射量及び前記試料の設置空間の気圧を検出する手段と、
前記検出された装置状態が所定の範囲を外れたことを検知する手段と、
前記装置状態が所定の範囲を外れたことの検知と同時刻に取得した測定パターンデータ及び基準パターンデータを、前記試料上の位置座標並びに該所定の範囲を外れた装置状態の種類及び検出値と同期して記憶する手段と、
前記記憶された各データ,装置状態の種類及び検出値を出力する手段と、
を具備してなることを特徴とするパターン検査装置。
IPC (6件)：
G01N21/956
, G01B11/24
, G03F1/08
, G06T1/00
, G06T7/00
, H01L21/66
G01N21/956 A
, G03F1/08 S
, G06T1/00 305A
, G06T7/00 300E
, H01L21/66 J
, G01B11/24 F
2F065AA56
, 2F065BB02
, 2F065CC17
, 2F065DD08
, 2F065FF04
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065LL37
, 2F065NN15
, 2F065QQ24
, 2G051AA51
, 2G051AA56
, 2G051AB02
, 2G051AC21
, 2G051BB11
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 2G051CC20
, 2G051DA07
, 2G051DA08
, 2G051EA12
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 2G051ED04
, 2G051ED11
, 2H095BD03
, 2H095BD13
, 2H095BD14
, 2H095BD28
, 4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106BA04
, 4M106CA39
, 4M106DB02
, 4M106DB05
, 4M106DB07
, 4M106DB12
, 4M106DB18
, 4M106DB20
, 4M106DJ04
, 4M106DJ18
, 4M106DJ21
, 5B057AA03
, 5B057BA02
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB11
, 5B057CH11
, 5B057DA03
, 5B057DC16
, 5B057DC32
, 5L096AA06
, 5L096BA03
, 5L096FA06
, 5L096FA38
, 5L096GA04
, 5L096HA07
, 5L096JA18
