特許
J-GLOBAL ID：200903040424017881
ウェハ搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-270305
公開番号（公開出願番号）：特開平8-070029
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】【目的】 交換に伴ってピックの位置がエレベータの昇降方向にずれても、エレベータ上のカセットとピックの相対位置を容易にかつ正確に制御することを可能にする。【構成】 エレベータ33にセットしたカセット34内のウェハWの昇降方向位置を検知するためなどの位置検知センサ35により、ピック26、27をそれぞれ検知し、これらの検知信号に基づいてエレベータ33に対するピック26、27の位置を制御するために制御部37に記憶されている基準位置データに補正を加えることにより、ウェハWに対するピック26、27の位置決めが正確に行われる。
請求項（抜粋）：
エレベータと、このエレベータ上にセットされ複数のウェハを多段に収納するカセットと、このカセット内のウェハを搬送すべく前記カセットに対して出入されるとともにエレベータとの相対的な昇降移動によりウェハの授受を行うピックを有するロボットとからなるウェハ搬送装置において、エレベータの昇降方向に沿う方向の前記ピックの位置を検知すべく取り付けられた位置検出センサと、この位置検出センサからの検出信号によりピックの基準取付位置からの位置ずれ量を求め、この位置ずれ量から前記ロボットまたはエレベータの前記昇降方向の位置を制御するための基準位置データに補正を加えてエレベータとピックとの相対的な移動を制御する制御部とを有することを特徴とするウェハ搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 545
, B65G 1/06 511
, B65G 61/00
