特許

J-GLOBAL ID：200903040428702023

蒸発装置、蒸着装置および蒸着装置における蒸発装置の切替方法

発明者： 松本 祐司 ,  前羽 良保 ,  鈴木 和人 ,  井上 鉄也 ,  大工 博之
出願人/特許権者： 日立造船株式会社
代理人 (2件)： 板垣 孝夫 ,  森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-189282
公開番号（公開出願番号）：特開2006-009107
出願日： 2004年06月28日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】蒸着すべき材料の使用効率が低下するのを防止し得る蒸発装置を提供する。【解決手段】所定の真空度下で所定の材料を蒸発させる蒸発装置4であって、真空ポンプ12に接続されるとともに上壁部11cに蒸発された蒸発材料Bを放出し得る材料放出穴17が設けられた蒸発用容器11と、この蒸発用容器11内に昇降用シリンダ装置13により昇降自在に設けられるとともに蒸着材料Aを収納した材料収納容器14を載置し得る載置台15とを具備し、上記蒸発用容器14の材料放出穴17の周囲に、材料収納容器14が載置台15を介して上昇された際にその外周を覆うことにより蒸発材料の当該蒸発用容器11内への放出を抑制する筒状の隔壁部材19を設け、且つ上記載置台15および隔壁部材16に材料収納容器14を加熱する加熱手段21を設けたものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

所定の真空度下で所定の材料を蒸発させる蒸発装置であって、 排気手段に接続されるとともに上部に蒸発された蒸発材料を放出し得る材料放出穴が設けられた蒸発用容器と、この蒸発用容器内に昇降手段により昇降自在に設けられるとともに材料を収納した材料収納容器を載置し得る載置台とが具備され、 上記蒸発用容器の材料放出穴の周囲に、上記材料収納容器が載置台を介して上昇された際にその外周を覆うことにより蒸発材料の当該蒸発用容器内への放出を抑制する筒状の隔壁部材を設け、 上記載置台および隔壁部材に上記材料収納容器を加熱する加熱手段を設けたことを特徴とする蒸発装置。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (2件)：

C23C14/24 A ,  C23C14/24 C

Fターム (5件)：

4K029AA09 ,  4K029CA01 ,  4K029DB12 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-096530   出願人：松下電器産業株式会社
• 特許第2912756号
  

審査官引用 (2件)

• 成膜装置用蒸発源、成膜装置用蒸発源の加熱装置、及びそれらを用いた成膜材料加熱蒸発装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-260683   出願人：磯光顯示科技股分有限公司
• 真空蒸着装置及び真空蒸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-329675   出願人：松下電工株式会社, 城戸淳二, トッキ株式会社