特許

J-GLOBAL ID：200903073052859444

成膜装置用蒸発源、成膜装置用蒸発源の加熱装置、及びそれらを用いた成膜材料加熱蒸発装置

発明者： 陳 華夫
出願人/特許権者： 磯光顯示科技股▲分▼有限公司
代理人 (1件)： 加藤 雅夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-260683
公開番号（公開出願番号）：特開2004-099942
出願日： 2002年09月05日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】成膜材料を収容する蒸発源と、蒸発源を加熱する加熱装置を構成する筒体の材料を工夫して、加工がし易く低コストで耐衝撃性にも優れた成膜装置における蒸発源、その加熱装置、及び成膜材料加熱蒸発装置を提供する。【解決手段】成膜材料を収容可能な蒸発源1、及び蒸発源1が内部に出入り可能であり蒸発源1を加熱する加熱用ワイヤ13が巻装され上下が開放した筒体12とは、安価に入手可能な材料であると共に、比較的に柔らかくて切削等の加工性が良好で、セラミックと比較して耐衝撃性及び耐熱性が良好なアルミニウムで製作されている。アルミニウム表面には陽極処理が施されて、強力な不動態被膜が形成されている。筒体12と共に加熱装置10を構成する加熱用ワイヤ13は二重ワイヤであり、各条のワイヤ部分13a,13bが筒体12の外周に形成された二条溝16a,16bに巻装されている。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

基板上に蒸着するために加熱される成膜材料を収容する収容部を備え、全体がアルミニウムで製作されていることから成る成膜装置用蒸発源。

IPC (3件)：

C23C14/24 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (3件)：

C23C14/24 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (10件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB13 ,  4K029DB18

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 蒸着重合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-253087   出願人：日本真空技術株式会社
• 特開昭55-138074
  
• 透明安定被膜形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-120032   出願人：石丸肇, 月島機械株式会社
• 有機薄膜形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-019292   出願人：アネルバ株式会社
• 特開昭55-138074
  
• 特開昭57-201522