特許
J-GLOBAL ID:200903040522065100
固体撮像素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
角田 芳末
, 磯山 弘信
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-338169
公開番号(公開出願番号):特開2005-109021
出願日: 2003年09月29日
公開日(公表日): 2005年04月21日
要約:
【課題】 ブルーミング特性を確保できるようにすると共に読み出し電圧も低くすることができ、且つ微細化されても、スミア特性を確保することができる構成の固体撮像素子を提供する。【解決手段】 受光センサ部2と垂直転送レジスタ3とが形成され、受光センサ部2と垂直転送レジスタ3との間に、読み出しゲート部18が形成されて撮像領域が構成され、撮像領域において、受光センサ部2を除く領域が遮光膜22で覆われ、遮光膜22が、受光センサ部2に蓄積された信号電荷を、垂直転送レジスタ3に読み出すための読み出し電極を兼ね、信号電荷の読み出し時以外は、遮光膜22に、読み出しゲート部の表面に反転層28が形成されるような電圧が印加され、信号電荷の読み出し時は、遮光膜に、反転層28が消去されるような電圧が印加される固体撮像素子1を構成する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
受光センサ部と垂直転送レジスタとが形成され、前記受光センサ部と前記垂直転送レジスタとの間に、読み出しゲート部が形成されて撮像領域が構成され、
前記撮像領域において、前記受光センサ部を除く領域が遮光膜で覆われ、
前記遮光膜が、前記受光センサ部に蓄積された信号電荷を、前記垂直転送レジスタに読み出すための読み出し電極を兼ね、
前記信号電荷の読み出し時以外は、前記遮光膜に、前記読み出しゲート部の表面に反転層が形成されるような電圧が印加され、
前記信号電荷の読み出し時は、前記遮光膜に、前記反転層が消去されるような電圧が印加される
ことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (3件):
H01L27/148
, H01L27/14
, H04N5/335
FI (3件):
H01L27/14 B
, H04N5/335 P
, H01L27/14 D
Fターム (24件):
4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA13
, 4M118CA03
, 4M118CA32
, 4M118CA34
, 4M118FA06
, 4M118FA26
, 4M118FA33
, 4M118FA35
, 4M118GB03
, 4M118GB11
, 4M118GB15
, 4M118GB18
, 4M118GC07
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 5C024CX12
, 5C024CX13
, 5C024GX02
, 5C024GY04
, 5C024GZ36
, 5C024HX02
引用特許:
前のページに戻る