特許
J-GLOBAL ID：200903040546208998
転写装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 中村 友之
, 川又 澄雄
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-377915
公開番号（公開出願番号）：特開2007-180315
出願日： 2005年12月28日
公開日（公表日）： 2007年07月12日
要約：
【課題】型に設けられている微細パターンを基板に転写する転写装置において、簡素な構成で正確な転写を行うことができる転写装置を提供する。【解決手段】微細な転写パターンが形成されている型M1で基板Wを押圧することにより、転写パターンを基板Wに転写する転写装置1において、基板Wの背面側、型M1の背面側の少なくとも一方の側に、弾性部材7、11が設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
微細な転写パターンが形成されている型で基板を押圧することにより、前記転写パターンを前記基板に転写する転写装置において、
前記基板の背面側、前記型の背面側の少なくとも一方の側に、弾性部材が設けられていることを特徴とする転写装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B29C 59/02
, B81C 5/00
H01L21/30 502D
, B29C59/02 B
, B81C5/00
4F209AC01
, 4F209AD08
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209AP06
, 4F209AR07
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PN06
, 4F209PN13
, 5F046AA28
出願人引用 (1件)
-
微小型押成形装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-190094
出願人：株式会社エリオニクス
審査官引用 (5件)
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