特許
J-GLOBAL ID：200903005584587340

微小型押成形装置

発明者：
松井 真二

松井 真二 について


出願人/特許権者：
株式会社エリオニクス

株式会社エリオニクス について


代理人 (4件)： 渡邉 勇 ,  堀田 信太郎 ,  小杉 良二 ,  森 友宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-190094
公開番号（公開出願番号）：特開2004-034300
出願日： 2002年06月28日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】型と被加工材の位置ずれを防ぎ、型と被加工材の平行度を維持することができる微小型押成形装置を提供する。【解決手段】型支持部2により支持された型1と被加工材支持部5により支持された被加工材4を互いに押し付けて被加工材4に型1のパターンを転写する微小型押成形装置において、型支持部2又は被加工材支持部5のいずれか一方に磁石8を配置し、他方に磁性体又は磁石8を配置し、磁気吸引力により型1と被加工材4との間の押し付け方向と直交する方向への相対移動を防止するようにした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
型支持部により支持された型と被加工材支持部により支持された被加工材を互いに押し付けて被加工材に型のパターンを転写する微小型押成形装置において、 前記型支持部又は被加工材支持部のいずれか一方に磁石を配置し、他方に磁性体又は磁石を配置し、磁気吸引力により前記型と被加工材との間の押し付け方向と直交する方向への相対移動を防止するようにしたことを特徴とする微小型押成形装置。
IPC (3件)：
B29C59/02 ,  B81C5/00 ,  H01L21/02
FI (3件)：
B29C59/02 B ,  B81C5/00 ,  H01L21/02 Z
Fターム (15件)：
4F209AC03 ,  4F209AD05 ,  4F209AD08 ,  4F209AG01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN13 ,  4F209PN20 ,  4F209PQ11 ,  4F209PQ20
引用特許：
審査官引用 (8件)
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