特許

J-GLOBAL ID：200903048332287697

ジンバル機構を備えた転写装置及び同装置を用いる転写方法

発明者： 小久保 光典 ,  奥山 浩司
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (7件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  中村 友之 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-356600
公開番号（公開出願番号）：特開2007-160565
出願日： 2005年12月09日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：

【課題】 型を保持するためのフレキシブルな素材に代えてジンバル機構を採用して構造をシンプルにすると共に、押し付け力や温度変化等による位置ずれをより小さく抑える。【解決手段】成形用の基板を搭載するテーブル11と、転写用の型41をテーブル11の面側に固定保持する型保持体と、型保持体を一方の面側に保持すると共に他方の面側に凸球面部を形成してなるジンバル部材201と、前記凸球面部と対接する凹球面部を形成したジンバル部材203と、前記ジンバル部材203を保持しテーブル11の面に対し進退可能な可動体19と、弾性体255を用いて、前記ジンバル部材201の姿勢を調整保持する姿勢調整及び保持手段とを有する転写装置である。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

以下の構成を有することを特徴とする、ジンバル機構を備えた転写装置、 (a)成形用の基板を搭載するテーブル; (b)同テーブル面に対向して配置された転写用の型を前記テーブル面の側に固定保持する型保持体; (c)前記型保持体を一方の面側に保持すると共に他方の面側に凸球面部を形成してなる第1のジンバル部材; (d)前記第1のジンバル部材の凸球面部と対接する凹球面部を形成した第2のジンバル部材; (e)前記第2のジンバル部材を保持し、前記テーブル面に対し進退可能な可動体; (f)前記可動体を進退駆動せしめる可動体駆動手段; (g)弾性体、流体圧シリンダの少なくともいずれかを用いて、前記第1のジンバル部材の姿勢を調整保持する姿勢調整及び保持手段。

IPC (4件)：

B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  B29C 43/36 ,  B29C 33/30

FI (4件)：

B29C59/02 Z ,  H01L21/30 502D ,  B29C43/36 ,  B29C33/30

Fターム (28件)：

4F202AF01 ,  4F202AG01 ,  4F202AG05 ,  4F202AP01 ,  4F202AR20 ,  4F202CA09 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CK43 ,  4F202CL17 ,  4F202CL42 ,  4F202CR06 ,  4F209AC03 ,  4F209AD05 ,  4F209AD08 ,  4F209AG01 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN13 ,  4F209PN20 ,  4F209PQ11 ,  4F209PQ20 ,  5F046AA28 ,  5F046CC13

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 微小型押成形装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-190094   出願人：株式会社エリオニクス

審査官引用 (3件)

• 傾き調整機能付きプレス装置、傾き調整機能付きパターン形成装置、型の傾き調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-222162   出願人：SCIVAX株式会社, 伯東株式会社, エンジニアリングシステム株式会社
• 薄膜形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-319269   出願人：日本電信電話株式会社, 大日本スクリーン製造株式会社
• 成形型ユニットの調整方法及び成形装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-105004   出願人：コニカミノルタホールディングス株式会社