光源、とくにEUVプラズマ放電源のための傾斜ミラーの垂直入射コレクタシステム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：正林真之
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-509132
公開番号（公開出願番号）：特表2007-515766
出願日： 2003年08月27日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：

第1のコレクタミラーおよび第2のコレクタミラーを備え; 第1のコレクタミラーが、光源から出る第1のビーム経路を、第2のコレクタミラーに達する第2のビーム経路に反射し; 第1のコレクタミラーが、凹面の垂直入射ミラーであり; 第1のコレクタミラーによって受け取られる第1の開口角が、第2の開口角よりも大きいか、またはこれに大体において等しく、この第2の開口角が、第1のコレクタミラーから出力され、かつ第2のコレクタミラーによって受け取られる: 光源、とくにEUV光源のためのコレクタシステム。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

第1のコレクタミラー(C1)および第2のコレクタミラー(C2)を備え; 第1のコレクタミラー(C1)が、光源(1)から出る第1のビーム経路を、第2のコレクタミラー(C2)に達する第2のビーム経路に反射し; 第1のコレクタミラー(C1)が、凹面の垂直入射ミラーであり; 第1のコレクタミラー(C1)によって受け取られる第1の開口角が、第2の開口角よりも大きいか、または実質的に等しく、この第2の開口角が、第1のコレクタミラー(C1)から出力され、かつ第2のコレクタミラー(C2)によって受け取られる: 光源(1)のための、とくにEUV光源のためのコレクタシステム(2)。

IPC (6件)：

H01L 21/027 , G02B 17/06 , G02B 19/00 , G03F 7/20 , G21K 1/06 , G21K 5/02

FI (7件)：

H01L21/30 531A , G02B17/06 , G02B19/00 , H01L21/30 531S , G03F7/20 521 , G21K1/06 M , G21K5/02 X

Fターム (8件)：

2H052BA03 , 2H052BA12 , 2H087KA21 , 2H087NA04 , 2H087TA04 , 5F046GA03 , 5F046GB01 , 5F046GC03

引用特許：

審査官引用 (7件)

照明システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-126487 出願人：カール-ツアイス-スチフツング
特開平4-095908
露光装置の調整方法及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-268197 出願人：株式会社ニコン

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