特許
J-GLOBAL ID：200903040705720140
基板整列装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-148781
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340638
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】基板が1回以上回転する予想時間を駆動時間として、駆動時間以内で基板の整列完了の成否に拘らず、駆動時間だけ基板を回転させ、そのため基板と基板への接触部材とが必要以上に摺動し、部材交換頻度の増大や汚染物質発生を抑制する基板整列装置を提供する。【解決手段】投光素子41からの発射光線Rが基板Wの整列前と後とで、基板の存否が異なる基板有無位置を通るようにし、制御部50で受光素子42に光線Rが到達したか否かを監視する。制御部は一旦受光素子に光線の到達を確認したら、所定時間後に再度受光素子に光線が到達しているか否かを確認し、光線が到達していれば整列完了、否なればさらに基板の回転を続行させて光線到達の有無を監視する。これで偶然光線Rの位置に全ての基板の切欠きNが揃った場合、全ての基板が係合ローラ24に係合したと誤判断したり、必要以上に基板を回転させて汚染物質の発生を防止している。
請求項（抜粋）：
周部に切り欠きを有し、略鉛直方向に起立して主面と直交する方向に複数並んだ状態にある円盤状の基板を支持し、前記各基板の切り欠きの位置を所定位置に整列させる基板整列装置であって、前記基板の下方に配置されて該基板の端部に接触し、基板の並び方向と平行な軸を中心に回転して前記基板を回転させる基板回転手段と、前記基板の下方で基板の端部を支持し、前記切り欠きと係合可能な係合部材と、前記係合部材と前記切り欠きとが係合したときに生じる、前記基板の主面を含む面内における前記基板の変位を検知する検知手段と、前記検知手段が複数の基板すべての変位を検出したとき前記基板回転手段の回転を停止させる制御手段とを備えた基板整列装置。
Fターム (9件)：
5F031CA02
, 5F031JA02
, 5F031JA28
, 5F031JA35
, 5F031KA04
, 5F031KA14
, 5F031LA07
, 5F031LA15
, 5F031PA23
