特許
J-GLOBAL ID：200903040761208761

位置検出装置

発明者：
金子 泰俊

金子 泰俊 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-116091
公開番号（公開出願番号）：特開2005-300322
出願日： 2004年04月09日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：
【課題】 物体上のパターンの位置をテンプレートマッチングによって常に精度よく検出できる位置検出装置を提供する。【解決手段】 物体上のパターンの画像を順次取り込む手段11〜14と、パターンの画像に対するテンプレートマッチング用のテンプレート画像を記憶する記憶手段15と、テンプレート画像を用いてパターンの画像に対するテンプレートマッチングを行い、パターンの画像の中でテンプレート画像に合致する部分であるターゲット部分の位置を求める演算手段14と、演算手段によってターゲット部分の位置が求められたパターンの画像を用いて新しいテンプレート画像を作成し、前記テンプレート画像を該新しいテンプレート画像に更新して記憶手段に記憶させるテンプレート更新手段14とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
物体上のパターンの画像を順次取り込む画像取込手段と、 前記パターンの画像に対するテンプレートマッチング用のテンプレート画像を記憶する記憶手段と、 前記テンプレート画像を用いて前記パターンの画像に対するテンプレートマッチングを行い、前記パターンの画像の中で前記テンプレート画像に合致する部分であるターゲット部分の位置を求める演算手段と、 前記演算手段によって前記ターゲット部分の位置が求められた前記パターンの画像を用いて新しいテンプレート画像を作成し、前記テンプレート画像を該新しいテンプレート画像に更新して前記記憶手段に記憶させるテンプレート更新手段とを備えた ことを特徴とする位置検出装置。
IPC (3件)：
G01B11/00 ,  G06T1/00 ,  G06T7/60
FI (3件)：
G01B11/00 H ,  G06T1/00 305C ,  G06T7/60 150B
Fターム (36件)：
2F065AA14 ,  2F065BB02 ,  2F065BB28 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ39 ,  2F065RR07 ,  2F065UU05 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CH01 ,  5B057CH11 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DC33 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096FA34 ,  5L096FA69 ,  5L096HA07 ,  5L096JA03 ,  5L096JA09
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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