特許

J-GLOBAL ID：200903040815546641

保護膜を有する炭素ナノチューブを具備した電界放出素子

発明者： 鄭 太 遠 ,  劉 址 範 ,  李 輝 健 ,  李 晶 姫 ,  兪 世 起 ,  李 昌 洙 ,  許 廷 娜
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-003998
公開番号（公開出願番号）：特開2003-217516
出願日： 2003年01月10日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：

【要約】【課題】 保護膜を有する炭素ナノチューブを具備する電界放出素子を提供する。【解決手段】 基板11と、基板11上に積層された陰極12と、陰極12上に位置する炭素ナノチューブ13と、炭素ナノチューブ13の先端部を包み込むように形成される保護膜15とを具備して構成する。保護膜15を窒化物系物質群、炭化物系物質群、酸化物系物質群の中から選択された1種の物質で構成する。このように構成されることにより、炭素ナノチューブ13を保護膜15で保護するのでアーキングや残留ガスによる損傷を防止することができ、電界放出素子の電界放出特性及び電界放出性能の安定性が向上された、電界放出素子が具現される。

請求項（抜粋）：

保護膜を有する炭素ナノチューブを具備したことを特徴とする電界放出素子。

IPC (2件)：

H01J 65/00 ,  H01J 61/44

FI (2件)：

H01J 65/00 A ,  H01J 61/44 N

Fターム (9件)：

5C043AA07 ,  5C043AA20 ,  5C043CC09 ,  5C043DD28 ,  5C043DD29 ,  5C043EB04 ,  5C043EC16 ,  5C043EC17 ,  5C043EC18

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許第6232706号明細書(全頁)
  
• 米国特許第6239547号明細書(全頁)
  

審査官引用 (3件)

• 冷陰極電子放出素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-269105   出願人：株式会社東芝
• 電子放出素子及びそれを用いた画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-090628   出願人：キヤノン株式会社
• フィールド・エミッタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-190659   出願人：ジスーン・イーム