基体支持部材、及び、これを用いた半導体装置又は液晶表示装置の製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-302115
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199581
出願日： 1996年11月13日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】本発明は、除電工程が不要で、基体上に保護用の非線形素子等を設けることなく、かつ、基体上に局部的な電位分布が発生しない基体支持部材、及び、これを用いた半導体装置又は液晶表示装置の製造装置を提供する。【解決手段】本発明の基体支持部材は、電子素子又は電気回路が配設された基体を保持する導電性の母材に、少なくとも前記基体と接触又は近接する前記母材の表面を絶縁性の被膜によって被覆してあることを特徴とする。前記被膜の静電容量は、2pF/cm2以上が好ましい。また、前記被膜の誘電緩和時間は、1μsec以上が望ましい。

請求項（抜粋）：

電子素子又は電気回路が配設された基体を保持する導電性の母材に、少なくとも前記基体と接触又は近接する前記母材の表面を絶縁性の被膜によって被覆してあることを特徴とする基体支持部材。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 27/12 , H01L 29/786

FI (5件)：

H01L 21/68 T , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 27/12 Z , H01L 29/78 623 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

ウエハチヤツク
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-232520 出願人：キヤノン株式会社
透明基板検出装置及び基板検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-247304 出願人：東京エレクトロン東北株式会社
特開平2-037743

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