機能性超薄膜およびその形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-190325
公開番号（公開出願番号）：特開2005-023199
出願日： 2003年07月02日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】本発明は、分子線エピタキシー法のような大掛かりな装置を用いずに、温和な条件でかつ複雑な形状にも対応可能なラングミュア・ブロジェット法を用い、構造が安定でかつ均一なナノメータスケールの超薄膜を比較的容易に提供することを目的とする。【解決手段】式(1)および式(2)のそれぞれで示される化合物の群から選択される少なくとも1つを用いて得られる単分子膜またはその累積膜よりなる機能性有機超薄膜。式(1)及び式(2)において、R1は水素、アルキル、アリールまたはアラルキルである;Y1の少なくとも1つは式(3)で示される基であり、残りは水素である。式(3)において、R2は式(1)におけるR1と同様に定義される基であり、Zは官能基を有する基である。【選択図】なし。

請求項（抜粋）：

式(1)および式(2)のそれぞれで示される化合物の群から選択される少なくとも1つを用いて得られる単分子膜またはその累積膜よりなる機能性有機超薄膜。

IPC (3件)：

C09D183/04 , B32B9/00 , C07F7/21

FI (3件)：

C09D183/04 , B32B9/00 Z , C07F7/21

Fターム (50件)：

4F100AB01B , 4F100AB01C , 4F100AK80A , 4F100BA03 , 4F100BA10B , 4F100BA10C , 4F100BA16A , 4F100EH90A , 4F100EH902 , 4F100EJ42A , 4F100EJ422 , 4F100EJ54A , 4F100EJ542 , 4F100GB41 , 4F100JG04A , 4F100JN17 , 4G075AA25 , 4G075BA05 , 4G075BA06 , 4G075CA33 , 4G075DA18 , 4G075EB32 , 4G075FB04 , 4G075FC15 , 4H049VN01 , 4H049VP08 , 4H049VP10 , 4H049VP11 , 4H049VQ25 , 4H049VQ87 , 4H049VQ88 , 4H049VR21 , 4H049VR23 , 4H049VR41 , 4H049VR43 , 4H049VU20 , 4J038DL031 , 4J038DL041 , 4J038DL071 , 4J038DL081 , 4J038DL101 , 4J038GA01 , 4J038GA06 , 4J038GA09 , 4J038GA10 , 4J038GA12 , 4J038GA13 , 4J038HA441 , 4J038NA21 , 4J038PB09

引用特許：

審査官引用 (8件)

酸化膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-260651 出願人：学校法人東海大学
半導体装置、相補型半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-077055 出願人：富士通株式会社
特公平7-030185

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引用文献：

審査官引用 (4件)

International SAMPE Symposium and Exhibition,47, page.1508-1516.(ABSTRACT, RN, CN, ) CAS ONLINE, AN=
POLYMER PREPRINTS,, Vol.42, No.1,(2001), Page.94
J. AM. CHEM. SOC.,, Vol.124, No.51,(2002), Page.15194-15195

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