特許

J-GLOBAL ID：200903040917284501

多官能性環状シロキサン化合物、この化合物から製造されたシロキサン系重合体及びこの重合体を用いた絶縁膜の製造方法

発明者： 申 鉉 振 ,  鄭 鉉 潭 ,  宣 鍾 白 ,  馬 相 國 ,  林 珍 亭 ,  李 在 俊 ,  李 光 熙 ,  金 正 培
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (5件)： 八田 幹雄 ,  奈良 泰男 ,  齋藤 悦子 ,  宇谷 勝幸 ,  藤井 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-188031
公開番号（公開出願番号）：特開2005-023075
出願日： 2004年06月25日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】優れた機械的物性、熱安定性、絶縁特性及び亀裂抵抗性を有する絶縁膜を提供することが可能な、多官能性シロキサン化合物、この化合物から製造されたシロキサン系(共)重合体及びこの重合体を用いた絶縁膜の製造方法を提供する。【解決手段】特定の構造を有する多官能性シロキサン化合物を(共)重合し、或いは前記多官能性シロキサン化合物を、ネットワークの形成及び分子量の増加に有用な有機ブリッジ(organic bridge)を有するシロキサン又はシラン系単量体及び/又は非環式の反応性シラン単量体と共に共重合してシロキサン系重合体を製造し、この重合体を用いて絶縁膜を製造する。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

下記化学式1aで表わされる多官能性環状シロキサン化合物。

IPC (3件)：

C07F7/18 ,  C08G77/14 ,  H01L21/312

FI (3件)：

C07F7/18 X ,  C08G77/14 ,  H01L21/312 C

Fターム (76件)：

4H049VN01 ,  4H049VP03 ,  4H049VP04 ,  4H049VP05 ,  4H049VP06 ,  4H049VP07 ,  4H049VP08 ,  4H049VQ02 ,  4H049VQ21 ,  4H049VQ78 ,  4H049VQ87 ,  4H049VR11 ,  4H049VR21 ,  4H049VR43 ,  4H049VS12 ,  4H049VS21 ,  4H049VU24 ,  4J246AA02 ,  4J246AA03 ,  4J246AB11 ,  4J246BA11X ,  4J246BA110 ,  4J246BB020 ,  4J246BB021 ,  4J246BB022 ,  4J246BB130 ,  4J246BB131 ,  4J246BB141 ,  4J246BB190 ,  4J246BB191 ,  4J246CA010 ,  4J246CA030 ,  4J246CA14X ,  4J246CA140 ,  4J246CA230 ,  4J246CA24X ,  4J246CA390 ,  4J246FA071 ,  4J246FA081 ,  4J246FA131 ,  4J246FA151 ,  4J246FA291 ,  4J246FA431 ,  4J246FA441 ,  4J246FA451 ,  4J246FA461 ,  4J246FB041 ,  4J246FB051 ,  4J246FB081 ,  4J246FB091 ,  4J246FB221 ,  4J246FB231 ,  4J246FC061 ,  4J246FC091 ,  4J246GA01 ,  4J246GA12 ,  4J246GB32 ,  4J246GC01 ,  4J246GC46 ,  4J246GC52 ,  4J246GD08 ,  4J246HA63 ,  5F058AA10 ,  5F058AC03 ,  5F058AD05 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02 ,  5F058BA20 ,  5F058BC02 ,  5F058BC05 ,  5F058BD04 ,  5F058BD07 ,  5F058BF46 ,  5F058BH02 ,  5F058BJ02

引用特許：

出願人引用 (11件)

• 米国特許第3,615,272号明細書
  
• 米国特許第5,378,790号明細書
  
• 韓国特許第343938号明細書
  
• 米国特許第4,399,266号明細書
  
• 米国特許第4,756,977号明細書
  
• 米国特許第4,999,397号明細書
  
• 米国特許第5,010,159号明細書
  
• 米国特許第6,232,424号明細書
  
• 米国特許第6,000,339号明細書
  
• 米国特許第5,853,808号明細書
  
• 欧州特許第0997497Al号明細書
  

審査官引用 (3件)

• 膜形成用組成物および絶縁膜形成用材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-118951   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 半導体層間絶縁膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-359541   出願人：三星電子株式会社
• 有機シリケート重合体およびこれを含む絶縁膜
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-511371   出願人：エルジー・ケム・リミテッド

引用文献：

審査官引用 (4件)

• Macromolecules, Vol.33, No.17, p.6310-6314 (2000).
• Inorganic Chemistry, Vol.41, No.25, p.6892-6904 (2002).
• Bulletein of the Chemical Society of Japan, Vol.31, No.1, p.22-25 (1958).
• Polymer Journal, Vol.30, No.9, p.730-735 (1998).