特許
J-GLOBAL ID:200903041014590165
画素観察システム、描画システム、液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機EL素子の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
上柳 雅誉
, 宮坂 一彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-334154
公開番号(公開出願番号):特開2008-142654
出願日: 2006年12月12日
公開日(公表日): 2008年06月26日
要約:
【課題】液状体の吐出不具合に起因する不良画素を早期に発見することができる画素観察システム、描画システム、液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機EL素子の製造方法を提供すること。【解決手段】描画システム1は、液状体を液滴として吐出描画する液滴吐出装置10と、液状体が吐出描画された画素領域を観察する観察部3を有する画素観察システム2と、液滴吐出装置10と画素観察システム2とを統括的に制御する統括制御部としての上位コンピュータ11とを備えた。上位コンピュータ11は、記憶部14に格納されたノズル情報と基板に対するノズルの配置情報とに基づいて、少なくとも1回の基板と複数のノズルとの相対移動において複数のノズルが掛かる画素領域の座標を観察座標として生成し、観察部3のカメラ15を用いて、当該観察座標に位置する画素領域を観察・撮像する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板と複数のノズルとの相対移動に同期して、前記基板上の複数の画素領域に前記複数のノズルから機能性材料を含む液状体を吐出して形成された画素を観察する画素観察システムであって、
前記複数のノズルにおける前記液状体の吐出状態を示すノズル情報と前記相対移動において前記画素領域ごとに掛かるノズルの配置情報とが少なくとも格納される記憶部と、
前記ノズル情報と前記配置情報とに基づいて前記基板上の観察座標を生成する座標生成部と、
前記座標生成部が生成した前記観察座標に位置する前記画素領域を観察する観察部とを備え、
前記座標生成部が少なくとも1回の前記相対移動における前記複数のノズルが掛かる前記画素領域の座標を前記観察座標として生成することを特徴とする画素観察システム。
IPC (6件):
B05B 12/08
, B05C 11/00
, H05B 33/10
, H05B 33/12
, H01L 51/50
, G02B 5/20
FI (6件):
B05B12/08
, B05C11/00
, H05B33/10
, H05B33/12 Z
, H05B33/14 A
, G02B5/20 101
Fターム (44件):
2C056EA04
, 2C056EB27
, 2C056EB40
, 2C056EB59
, 2C056EC69
, 2C056FA04
, 2C056FA10
, 2C056FA15
, 2C056FB01
, 2H048BA02
, 2H048BA64
, 2H048BB22
, 2H048BB42
, 3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107GG08
, 3K107GG35
, 3K107GG56
, 4D075AC06
, 4D075AC09
, 4D075AC86
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075BB24Z
, 4D075CA47
, 4D075CB07
, 4D075CB08
, 4D075CB38
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DC24
, 4D075EA07
, 4D075EA33
, 4D075EC07
, 4D075EC11
, 4D075EC17
, 4F035AA04
, 4F035BA21
, 4F035BB21
, 4F042AA06
, 4F042BA08
, 4F042CB13
, 4F042DH09
引用特許:
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