特許
J-GLOBAL ID：200903041081891900
感圧センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
増井 義久
, 比村 潤相
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-144679
公開番号（公開出願番号）：特開2007-315875
出願日： 2006年05月24日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：
【課題】コストの増大を抑制しつつ、圧力-静電容量特性のバラツキやリニアリティの悪化を抑制することができる感圧センサを実現する。【解決手段】感圧センサは、表面が誘電部材4によって覆われた固定電極7と、外部からの圧力を受けることにより表面が誘電部材4の表面に部分的に接し、その圧力の大きさに応じた静電容量を固定電極7との間に生じる可動電極6とを備える。そして、誘電部材4は、固定電極7側の層を形成する下層膜4aと、下層膜4aの表面よりも表面粗さの小さい表面を有し、下層膜4aを覆うように配置されたシート状の上層膜4bとからなっている。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
表面が誘電部材によって覆われた第1電極と、
外部からの圧力を受けることにより表面が前記誘電部材の表面に部分的に接し、その圧力の大きさに応じた静電容量を前記第1電極との間に生じる第2電極とを備え、
前記誘電部材は、前記第1電極側の層を形成する基材と、前記基材の表面よりも表面粗さの小さい表面を有し、前記基材を覆うように配置されたシート状の被覆部材とからなることを特徴とする感圧センサ。
IPC (3件)：
G01L 1/14
, G01L 5/00
, A61B 5/024
G01L1/14 J
, G01L5/00 101Z
, A61B5/02 310M
2F051AA17
, 2F051AB06
, 2F051BA07
, 4C017AA09
, 4C017AB02
, 4C017AC04
出願人引用 (2件)
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特開昭51-125858号公報(1976年11月2日公開)
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容量型絶対圧センサおよび方法
公報種別：公表公報
出願番号：特願平8-516951
出願人：ケースウェスタンリザーブユニバーシティ
審査官引用 (3件)
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特開昭51-125858
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力検出装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-147853
出願人：ニッタ株式会社, 株式会社ワコー
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面圧分布センサおよび面圧分布センサの製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-017088
出願人：アルプス電気株式会社
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