特許
J-GLOBAL ID：200903041126093644

加速度センサおよびその製造方法

発明者：
林 道彦

林 道彦 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-129285
公開番号（公開出願番号）：特開2006-308353
出願日： 2005年04月27日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：
【課題】製造工程での歩留まりが良く、かつ生産性も良好な加速度センサおよびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】XYZ座標系におけるXY平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部12を複数の梁部14を介して周囲の支持部13に支持する可動基板11と、この可動基板11における支持部13と接合され、かつ可動基板11における質量部12と所定間隔を有する固定電極16を上面に設けた固定基板15とを備え、前記質量部12と梁部14の双方の固定電極16と対向する側に所定間隔で突起17を設けるとともに、前記固定電極16の端部18を固定基板15の側面から露出させるように構成したものである。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
XYZ座標系におけるXY平面に沿って配置され加速度に応じて変位する質量部を複数の梁部を介して周囲の支持部に支持する可動基板と、この可動基板における支持部と接合され、かつ可動基板における質量部と所定間隔を有する固定電極を上面に設けた固定基板とを備え、前記質量部と梁部の双方の固定電極と対向する側に所定間隔で突起を設けるとともに、前記固定電極の端部を固定基板の側面から露出させるように構成した加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/18 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01P15/00 K ,  G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z
Fターム (16件)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA04 ,  4M112DA08 ,  4M112DA09 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特開平4-299267号公報
審査官引用 (6件)
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