特許
J-GLOBAL ID：200903035974589544

容量式加速度センサ

発明者：
宮崎 重実

宮崎 重実 について

, 
山口 靖雄

山口 靖雄 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について

, 
三菱電機エンジニアリング株式会社

三菱電機エンジニアリング株式会社 について


代理人 (2件)： 青山 葆 ,  河宮 治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-204248
公開番号（公開出願番号）：特開2004-045269
出願日： 2002年07月12日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】固定部と、その固定部との間で容量を形成する構造体とからなる容量式加速度センサにおいて、前記構造体を移動可能に保持する梁部に共振現象が生じると、弓なりに大きく変位し、許容変位量を超えれば梁部が破損した。【解決手段】構造体1の所定部を梁部2近辺まで延長して、両者の間隙を許容変位量未満のg2とすることにより、梁部2の変位量をg2以下に抑えて梁部2の破損を防止する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
固定部と、前記との間で容量を形成する構造体と、前記構造体を移動可能に保持する梁部とを、エッチング技術を用いてシリコン及びポリシリコンで形成してなる容量式加速度センサにおいて、 構造体の所定部を梁部近辺まで延長して前記梁部の必要以上の変位を抑止したことを特徴とする容量式加速度センサ。
IPC (2件)：
G01P15/125 ,  H01L29/84
FI (2件)：
G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z
Fターム (10件)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA36 ,  4M112DA04 ,  4M112EA03 ,  4M112FA07 ,  4M112FA09 ,  4M112FA20
引用特許：
審査官引用 (4件)
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