特許
J-GLOBAL ID：200903047938199010
容量検出型自己診断3軸加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
草野 卓
, 稲垣 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-088228
公開番号（公開出願番号）：特開2004-294309
出願日： 2003年03月27日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】z軸方向の入力加速度の検出感度を良好とすると共に、自己診断に加速度検出用の固定電極を兼用して電極総数および引出し線本数を削減した容量検出型自己診断3軸加速度センサを提供する。【解決手段】z固定電極対Z1、Z2は固定基板1の表面の中心部に一方の対角線に沿って分割して形成され、この一方の対角線に関して互いに対称に対向して他方の対角線方向に離隔して配置され、x固定電極対X1、X2は電極面を固定基板1の2本の対角線方向およびy軸方向に沿って分割し台形に形成され、z固定電極対Z1、Z2に関してx軸方向に離隔対向して配置され、y固定電極対Y1、Y2は電極面を固定基板1の2本の対角線方向およびx軸方向に沿って分割して台形に形成され、z固定電極対Z1、Z2に関してy軸方向に離隔対向して配置されている容量検出型自己診断3軸加速度センサ。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
固定基板と、固定基板に対向するダイアフラムと、ダイアフラム上面中央部に形成される錘体と、ダイアフラムの下面に形成される可動電極と、可動電極に対向して固定基板上面に形成される固定電極とを有し、両電極間に形成される静電容量の変化に基づいて固定基板面内の互いに直交するx軸、y軸およびこれらに直交するz軸の各軸方向の加速度を検出する容量検出型自己診断3軸加速度センサにおいて、
z固定電極対は、固定基板の表面の中心部に一方の対角線に沿って分割して直角三角形に形成され、この一方の対角線に関して互いに対称に対向して他方の対角線方向に離隔して固定基板の表面に配置され、
x固定電極対は、電極面を固定基板の2本の対角線方向およびy軸方向に沿って分割して台形に形成され、z固定電極対に関してx軸方向に離隔対向して固定基板の表面に配置され、
y固定電極対は、電極面を固定基板の2本の対角線方向およびx軸方向に沿って分割して台形に形成され、z固定電極対に関してy軸方向に離隔対向して固定基板の表面に配置されていることを特徴とする容量検出型自己診断3軸加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P15/125
, G01P15/18
, G01P21/00
G01P15/125 Z
, G01P21/00
, G01P15/00 K
