特許
J-GLOBAL ID：200903065217448727
加速度センサとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
廣澤 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-103120
公開番号（公開出願番号）：特開2004-309306
出願日： 2003年04月07日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：
【課題】簡単な構造で、基板にひずみが生じない加速度センサを提供する。【解決手段】ガラス板等の四角形の絶縁基板12と、中空部25を有し中心に重り26を備え、絶縁基板12とほぼ同形状のシリコンウエハ等の半導体の本体部22とを備える。本体部22の各辺には、四辺ともにそのほぼ中央部分の一部分が切除された切除部24が形成されている。絶縁基板12に本体部22を接合した状態で、切除部24に絶縁基板12上の引出用電極20が露出する。切除部24の内側の角は、面取りされまたはアール状に形成されていてもよい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
四角形の絶縁基板と、中空部を有しその中心に重りが設けられ上記絶縁基板とほぼ同形状の半導体の本体部とを有し、この本体部の各辺には、四辺ともにその一部分が切除されて切除部が形成され、上記絶縁基板に上記本体部を接合した状態で、上記切除部に上記絶縁基板上の引出用電極が露出して成ることを特徴とする加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P15/125
, G01P15/18
, H01L29/84
G01P15/125 Z
, H01L29/84 Z
, G01P15/00 K
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA26
, 4M112CA31
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA18
, 4M112EA02
, 4M112EA11
, 4M112FA01
, 4M112FA05
, 4M112FA09
