特許
J-GLOBAL ID：200903041175691590
光変調素子アレイ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-164571
公開番号（公開出願番号）：特開2006-337858
出願日： 2005年06月03日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：
【課題】 光機能膜を拡大することなくヒンジを長くすることが可能となる光変調素子アレイを得る。【解決手段】 基板63の上方に設けられた光機能膜65と、光機能膜65を傾動自在に支持するヒンジ部67と、ヒンジ部67の端部67aを基板63に接続するマイクロミラー支持部69とを有する回転変位型光変調素子61が、直交する第1、第2の方向X,Yに2次元配列された光変調素子アレイ100であって、回転変位型光変調素子61は、第1の方向Xでは直線状に並設されるとともに、第2の方向Yでは第2の方向Yで隣接する回転変位型光変調素子61に対して略1/2素子分第1の方向Xにずらされて千鳥配列され、第2の方向Yと平行に形成したヒンジ部67の端部67aが、第1の方向Xで隣接する回転変位型光変調素子61の間隙71に配置される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板の上方に設けられた光機能膜と、該光機能膜を傾動自在に支持するヒンジ部と、該ヒンジ部の端部を前記基板に接続するヒンジ支持部とを有する回転変位型光変調素子が、直交する第1、第2の方向に2次元配列された光変調素子アレイであって、
前記回転変位型光変調素子は、前記第1の方向では直線状に並設されるとともに、前記第2の方向では該第2の方向で隣接する前記回転変位型光変調素子に対して前記第1の方向に位相がずらされた千鳥配列とされ、
前記第2の方向と平行に形成した前記ヒンジ部の端部が、前記第1の方向で隣接する前記回転変位型光変調素子の間隙に配置されたことを特徴とする光変調素子アレイ。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, B81B 3/00
, G03F 7/20
G02B26/08 E
, B81B3/00
, G03F7/20 501
2H041AA13
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
, 2H097BB10
