特許
J-GLOBAL ID：200903041234150719

感光性樹脂組成物及び物品

発明者：
坂寄 勝哉

坂寄 勝哉 について

, 
福田 俊治

福田 俊治 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (2件)： 岸本 達人 ,  山下 昭彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-266499
公開番号（公開出願番号）：特開2007-119766
出願日： 2006年09月29日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】高分子前駆体、特にポリイミド前駆体の種類を問わず大きな溶解性コントラストを得られ、結果的に十分なプロセスマージンを保ちつつ、形状が良好なパターンを安価に得ることができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】下記式(1)で表されるベンズヒドリルアンモニウム塩と高分子前駆体を含有する感光性樹脂組成物である。(式中、R1〜R13は、それぞれ独立に水素または1価の有機基である。R14は、水素または1価の有機基である。Aは、陰イオンとなりえる化合物又は元素である。)【選択図】なし
請求項（抜粋）：
電磁波の吸収により分解し、元の化合物よりも低分子のアミンを脱離させるアンモニウム化合物塩と、高分子前駆体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (9件)：
C08L 79/08 ,  G03F 7/004 ,  G02B 5/20 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/038 ,  C08K 5/17 ,  C09D 4/00 ,  C09D 179/08 ,  C09D 179/04
FI (9件)：
C08L79/08 ,  G03F7/004 503B ,  G02B5/20 101 ,  H01L21/30 502R ,  G03F7/038 504 ,  C08K5/17 ,  C09D4/00 ,  C09D179/08 Z ,  C09D179/04 Z
Fターム (35件)：
2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB13 ,  2H025AB14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  4J002AA061 ,  4J002CM021 ,  4J002CM041 ,  4J002EN136 ,  4J002EU016 ,  4J002EU036 ,  4J002GH01 ,  4J002GL00 ,  4J002GP00 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ01 ,  4J002GQ05 ,  4J038DJ021 ,  4J038JB01 ,  4J038PA17
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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