特許
J-GLOBAL ID:200903041500389943

紫外線受光器、紫外線光量測定装置、及び紫外線光量測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-074161
公開番号(公開出願番号):特開2002-277323
出願日: 2001年03月15日
公開日(公表日): 2002年09月25日
要約:
【要約】【課題】 測定対象物及びその測定位置に制約がなく、測定位置の紫外線光量を正確に測定することができる紫外線受光器、それを用いた紫外線光量測定装置及び紫外線光量測定方法を提供すること。【解決手段】半導体層36を有する紫外線受光素子22と、紫外線受光素子22を保護し、且つ測定位置設置面42及び光入射面38を有する保護体24と、を備え、紫外線受光器20全体の厚さAが5mm以下、受光面36から光入射面38までの高さBが5mm以下、または受光面36から測定位置設置面42までの高さCが5mm以下である紫外線受光器、紫外線光量測定装置及び紫外線測定方法。
請求項(抜粋):
測定対象物における任意の測定位置に設置させ、前記測定位置における紫外線光量の測定に用いられる紫外線受光器であって、紫外線を受光する半導体層を有する紫外線受光素子と、前記紫外線受光素子を保護し、且つ、前記測定位置に設置させる測定位置設置面、及び前記半導体層に受光させる紫外線を入射する光入射面を有する保護体と、を備え、前記紫外線受光器全体の厚さが5mm以下であることを特徴とする紫外線受光器。
IPC (3件):
G01J 1/02 ,  G01J 1/42 ,  H01L 27/14
FI (4件):
G01J 1/02 G ,  G01J 1/42 A ,  H01L 27/14 K ,  H01L 27/14 D
Fターム (23件):
2G065AA15 ,  2G065AB05 ,  2G065AB09 ,  2G065AB27 ,  2G065BA02 ,  2G065BA33 ,  2G065BB21 ,  2G065BC03 ,  2G065BC13 ,  2G065BC15 ,  2G065BC28 ,  2G065BD02 ,  2G065DA01 ,  2G065DA10 ,  2G065DA11 ,  2G065DA20 ,  4M118AA10 ,  4M118AB10 ,  4M118BA01 ,  4M118CA14 ,  4M118CB05 ,  4M118HA26 ,  4M118HA29
引用特許:
審査官引用 (3件)

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