特許
J-GLOBAL ID：200903041519199878

ポジ型感光性樹脂組成物、半導体装置及び表示素子、並びに半導体装置及び表示素子の製造方法

発明者：
番場 敏夫

番場 敏夫 について

, 
平野 孝

平野 孝 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-184662
公開番号（公開出願番号）：特開2005-037925
出願日： 2004年06月23日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】 スカムなく高感度での現像が可能で硬化後の膜が低着色で、更に低吸水であるポジ型の感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置、表示素子の製造方法を提供する。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂(A)、ジアゾナフトキノン化合物(B)、フェノール性水酸基を含まず-CH2OH基を含む化合物(C)を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物であり、アルカリ可溶性樹脂(A)が、特定の構造を有するポリアミド樹脂であり、化合物(C)が-CH2OH基を2つ以上有するものが好ましい。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂(A)、ジアゾナフトキノン化合物(B)、フェノール性水酸基を含まず-CH2OH基を含む化合物(C)を含んでなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F7/037 ,  C08G69/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027
FI (6件)：
G03F7/037 ,  C08G69/00 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/022 ,  G03F7/039 501 ,  H01L21/30 502R
Fターム (48件)：
2H025AA01 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB23 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA30 ,  4J001DA01 ,  4J001DB04 ,  4J001DC05 ,  4J001DC08 ,  4J001DC10 ,  4J001DC14 ,  4J001DD02 ,  4J001DD04 ,  4J001EB34 ,  4J001EB35 ,  4J001EB36 ,  4J001EB37 ,  4J001EB56 ,  4J001EB57 ,  4J001EB58 ,  4J001EB59 ,  4J001EB60 ,  4J001EB64 ,  4J001EB65 ,  4J001EB67 ,  4J001EB69 ,  4J001EC38 ,  4J001EC43 ,  4J001EC44 ,  4J001EC56 ,  4J001EC66 ,  4J001EC67 ,  4J001EC68 ,  4J001EC69 ,  4J001EC70 ,  4J001EC74 ,  4J001EC75 ,  4J001EC77 ,  4J001EC79 ,  4J001EE64A ,  4J001GA13 ,  4J001JA20 ,  4J001JB34
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特公平1-46862号公報
審査官引用 (6件)
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