特許
J-GLOBAL ID:200903041566101690

量子ビームモニタ用電極及び量子ビームモニタ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 羽鳥 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-291800
公開番号(公開出願番号):特開2007-101367
出願日: 2005年10月04日
公開日(公表日): 2007年04月19日
要約:
【課題】耐熱性、耐放射線性及び二次電子放出特性に優れている量子ビームモニタ用電極を提供すること。【解決手段】本発明の量子ビームモニタ用電極1は、複数のリボン状のカーボングラファイト薄膜210が所定間隔おきに一方向に沿って並設されたモニタターゲット21を備えている。カーボングラファイト薄膜210は、厚さが0.5〜100μm、幅が0.05〜50mmであることが好ましく、隣接するカーボングラファイト薄膜210間の距離は、0.01〜100mmであることが好ましい。【選択図】図2
請求項(抜粋):
複数のリボン状のカーボングラファイト薄膜が所定間隔おきに一方向に沿って並設されたモニタターゲットを備えている量子ビームモニタ用電極。
IPC (4件):
G01T 1/29 ,  H01J 37/04 ,  G01T 1/28 ,  H05H 13/04
FI (4件):
G01T1/29 A ,  H01J37/04 A ,  G01T1/28 ,  H05H13/04 R
Fターム (16件):
2G085AA13 ,  2G085BA17 ,  2G085CA20 ,  2G085CA27 ,  2G085EA01 ,  2G085EA04 ,  2G088FF12 ,  2G088GG25 ,  2G088JJ01 ,  2G088JJ04 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ31 ,  2G088JJ33 ,  2G088KK35 ,  5C030AA04 ,  5C030AB06
引用特許:
出願人引用 (1件)

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