特許
J-GLOBAL ID：200903041568412676

光変位センサー及びそれを用いた変位測定装置

発明者：
松岡 利幸

松岡 利幸 について

, 
田沼 敦郎

田沼 敦郎 について


出願人/特許権者：
アンリツ株式会社

アンリツ株式会社 について


代理人 (1件)： 三澤 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-007794
公開番号（公開出願番号）：特開2008-175604
出願日： 2007年01月17日
公開日（公表日）： 2008年07月31日
要約：
【課題】照射角度の異なる複数の光源により正反射光と乱反射光を受けて、これまで正反射光だけでは受けにくい陰の部分の変位測定精度を改善できる技術を提供する。【解決手段】被測定部物の表面の対象位置を照射する第1の光源OS1と、対象位置にて該第1の光源の第1の光軸に対して第1の角度θ1で形成される第1の散乱光路上に配置された第1の受光手段D1と、第1の光軸に対して第1の散乱光路と反対側に第2の角度θ2で形成される第2の散乱光路上に配置された第2の受光手段D2と、第1の光軸に対して斜めの角度θ3で対象位置を照射する第2の光源OS2と、対象位置にて該第2の光源の第2の光軸に対して第3の角度2θ3で形成される正反射光路上に配置された第3の受光手段D3と、を相互の位置を定めて一つの筐体内に備えた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被測定物の表面の対象位置を照射する第1の光源(OS1)と、前記対象位置にて該第1の光源の第1の光軸に対して第1の角度θ1で形成される第1の散乱光路上に配置された第1の受光手段(D1)と、該第1の光軸に対して該第1の散乱光路と反対側に第2の角度θ2で形成される第2の散乱光路上に配置された第2の受光手段(D2)と、該第1の光軸に対して斜めの角度θ3で前記対象位置を照射する第2の光源(OS2)と、該対象位置にて該第2の光源の第2の光軸に対して第3の角度2θ3で形成される正反射光路上に配置された第3の受光手段(D3)と、を相互の位置を定めて一つの筐体内に備えたことを特徴とする光変位センサー。
IPC (1件)：
G01B 11/00
FI (1件)：
G01B11/00 A
Fターム (19件)：
2F065AA24 ,  2F065AA58 ,  2F065AA59 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065FF09 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL22 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ31
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許第3817232号公報
審査官引用 (3件)
  • 3次元物体の測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-164861   出願人：松下電器産業株式会社
  • 光学式変位測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-065891   出願人：オムロン株式会社
  • 表面形状測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-350817   出願人：ソニー株式会社

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