特許
J-GLOBAL ID：200903041606722722
電子放出素子、電子源及び画像形成装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
世良 和信 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-294940
公開番号（公開出願番号）：特開2003-100199
出願日： 2001年09月26日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：
【要約】【課題】 電子ビーム径が小さい電子放出素子を提案するものであり、そのような電子放出素子、電子源を利用して、画質の良好で高精細な画像形成装置を提供する。【解決手段】 カソード電極2は、その一部に掘り込まれて開口を有しており、また、その開口の掘り込み深さは、開口底面周縁部で深く、開口底面中央部で浅く形成される。電子放出材5の表面は、カソード電極2-絶縁層3の境界面より深部に形成される。
請求項（抜粋）：
基板上に積層されたカソード電極と絶縁層とゲート電極とを有し、そして前記絶縁層及びゲート電極を貫通する開口と、該開口内の前記カソード電極に電気的に接続された電子放出材とを有した電子放出素子であって、前記カソード電極と前記開口とで形成される開口底面は、該開口底面の周縁部が該開口底面の中央部よりも深く掘り込まれた形状であり、かつ前記開口内に配置された前記電子放出材の表面は、前記カソード電極と前記絶縁層の境界高さより低い位置に位置することを特徴とする電子放出素子。
IPC (3件)：
H01J 1/304
, H01J 29/04
, H01J 31/12
H01J 29/04
, H01J 31/12 C
, H01J 1/30 F
5C031DD17
, 5C036EE03
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EG12
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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