ボール配列基板

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：國分孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-105309
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284501
出願日： 1997年04月08日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】精度よく吸着状態の良否を認識し、確実にボールバンプを形成させるためのボール配列基板を提供する。【解決手段】ボール配列基板1は、半導体素子または基板等の電極に対応する位置に微小導電性ボール3を吸着保持し配列させる。微小導電性ボール3を吸着したボール配列面に光をあて、微小導電性ボール3とボール配列面からの反射光により、微小導電性ボール3の配列状態の良否を光学的に認識する際、光源の波長を300〜900nmの範囲で設定すると共に、光源に対する反射率を50%以下とる。微小導電性ボール3を吸着させるボール配列面に反射抑制膜4が形成される。

請求項（抜粋）：

半導体素子または基板等の電極に対応する位置に微小導電性ボールを吸着保持し配列させるためのボール配列基板であって、前記微小導電性ボールを吸着したボール配列面に光をあて、前記微小導電性ボールと前記ボール配列面からの反射光により、前記微小導電性ボールの配列状態の良否を光学的に認識する際、その光源の波長を300〜900nmの範囲で設定すると共に、前記光源に対する反射率を50%以下としたことを特徴とするボール配列基板。

FI (3件)：

H01L 21/92 604 H , H01L 21/92 604 Z , H01L 21/92 604 T

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭62-025435
特開昭62-025435
微小球除去方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-037766 出願人：新日本製鐵株式会社

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