物体の欠陥の検査方法および検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-354138
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236512
出願日： 1996年12月18日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】簡便かつ迅速に、しかも、微妙な色調の異常などの欠陥を検出することができるとともに、安定した検査結果が達成される高感度の物体の欠陥の検査方法および検査装置を提供する。【解決手段】検査光を検査対象物体である物体に照射し、前記物体を透過した光もしくは反射した光により形成された像を観察することにより物体の欠陥を検査する方法であって、結像光学手段を用いることにより集光した前記透過した光もしくは反射した光のうちの散乱光または直接光のいずれかを、前記結像光学手段の焦点面に設けた開口絞りにより遮蔽して得られる光により形成された像を観察して、微妙な物体の欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

検査光を検査対象である物体に照射し、前記物体を透過した光もしくは反射した光により形成された像を観察することにより物体の欠陥を検査する方法であって、結像光学手段を用いることにより集光した前記透過した光もしくは反射した光のうちの散乱光を、前記結像光学手段の焦点面に設けた開口絞りにより遮蔽して得られる光により形成された像を観察することを特徴とする物体の欠陥の検査方法。

IPC (3件)：

G01M 11/00 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

FI (3件)：

G01M 11/00 T , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

引用特許：

審査官引用 (7件)

検査用光学系および検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-141118 出願人：株式会社ニュークリエイション
表面状態検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-216398 出願人：キヤノン株式会社
眼レンズを検査するためのレンズ検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-344808 出願人：ジョンソン・アンド・ジョンソン・ビジョン・プロダクツ・インコーポレイテッド

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