特許
J-GLOBAL ID:200903041774074779
光導波路素子、光導波路素子の製造方法、光偏向素子、及び光スイッチ素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-073042
公開番号(公開出願番号):特開2001-264561
出願日: 2000年03月15日
公開日(公表日): 2001年09月26日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】高い結合効率で光ファイバと結合することができる光導波路素子及び、その製造方法を提供する。【解決手段】単結晶基板1の上に形成されたバッファ層2、及びバッファ層2上に形成された光導波路層3を備え、バッファ層2には、凹部が形成され、光導波路層3がこの凹部に嵌合するように設けられて、チャンネル光導波路4が形成されている。光導波路層3の光入射側及び光出射側の上面には、光導波路層3より小さい屈折率を有し、端面に向かって厚さがテーパ状に増加するクラッド層6が単結晶基板1と同じ幅で設けられ、このようにクラッド層6を設けることにより、モードフィールド径を拡大することが可能であり、光ファイバと光導波路素子との結合損失を大幅に低減することができる。また、クラッド層6の厚さを端面に向かってテーパ状に増加させることにより、徐々にモードフィールド径を絞ることができ、光導波路内での光伝播損失も低減することができる。
請求項(抜粋):
光導波路を備えた光導波路層と、前記光導波路層表面の前記光導波路の入射端部及び出射端部の少なくとも一方の上方に設けられ、前記光導波路層よりも小さい屈折率を有し、且つ端部に向かってテーパ状に厚さが増加するクラッド層と、を含む光導波路素子。
IPC (7件):
G02B 6/122
, G02B 6/13
, G02B 6/12
, G02F 1/035
, G02F 1/055 505
, G02F 1/295
, G02F 1/313
FI (8件):
G02F 1/035
, G02F 1/055 505
, G02F 1/295
, G02F 1/313
, G02B 6/12 A
, G02B 6/12 M
, G02B 6/12 N
, G02B 6/12 J
Fターム (29件):
2H047KA04
, 2H047KA13
, 2H047KA15
, 2H047NA02
, 2H047PA01
, 2H047PA24
, 2H047QA01
, 2H047QA04
, 2H047TA32
, 2H047TA43
, 2H079AA02
, 2H079AA12
, 2H079CA05
, 2H079DA03
, 2H079DA04
, 2H079EA05
, 2H079EA32
, 2K002AB04
, 2K002AB07
, 2K002AB08
, 2K002BA06
, 2K002CA02
, 2K002CA22
, 2K002DA05
, 2K002DA08
, 2K002EA05
, 2K002EA15
, 2K002FA02
, 2K002HA02
引用特許:
審査官引用 (5件)
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特開平3-010207
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光導波路素子およびその作製方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-192709
出願人:富士ゼロックス株式会社
-
光半導体装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-174623
出願人:富士通株式会社
-
半導体光デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-162980
出願人:日本電信電話株式会社
-
特開平2-085807
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引用文献:
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