特許
J-GLOBAL ID：200903041809587502
光像形成性組成物
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-001114
公開番号（公開出願番号）：特開平7-271033
出願日： 1995年01月09日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 水使用に適した光像形成性組成物を提供する。【構成】 水使用に適した光像形成性組成物又はフォトレジストは、アルカリ水性溶液中それを現像可能にするため十分なカルボン酸官能価を有するラテックスバインダーポリマー、光重合性モノマー分画光開始剤および水性媒質中モノマー分画のエマルションを支持するポリエーテルポリウレタン結合増粘剤を含んでなる。ラテックスバインダーのカルボン酸官能価は0〜20%で中和される。
請求項（抜粋）：
A)約50〜約250の酸価を与えるカルボン酸官能価を有するラテックス バインダーポリマーの約30〜約80重量%;B)α,β-エチレン性不飽和モノマーの分画の約20〜約50重量%;C)遊離基を発生する光開始剤又は光開始剤化学系の約0.1〜約25重量%;およびD)ポリエーテルポリウレタン関連のシックナーの約1〜約40重量%(前記重量%は成分A〜Dの合計重量基準である)を含んでなり、ラテックスバインダーポリマーのカルボン酸含量は、塩基で中和されていないか、またはそのカルボキシル化合物の官能価の約20%まで塩基で中和されている、水中で使用に適した光像形成性組成物。
IPC (12件)：
G03F 7/033
, C09D 4/06 PDR
, C09D 4/06 PDV
, C09D 4/06 PEN
, G03F 7/004 502
, G03F 7/004 504
, G03F 7/027 502
, G03F 7/031
, H01L 21/027
, H05K 3/06
, H05K 3/18
, H05K 3/28
