平面プローブ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-266869
公開番号（公開出願番号）：特開平11-110792
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】光の損失が小さくエバネッセント光を効率良く生じることができ、また機械的強度に優れた平面プローブ及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板1上に錐状の貫通孔2を形成し、この貫通孔2内にレンズ4を収容することでプローブ5を構成する。そして、このようなプローブ5が複数形成された平面プローブを用いてエバネッセント光による記録再生を行うようにする。

請求項（抜粋）：