特許
J-GLOBAL ID：200903041851463724
処理基板トレイ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
板谷 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-239213
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068541
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：
【要約】【課題】 既存の設備に大掛かりな変更を加えることなく、不特定な形状の処理基板のハンドリングを容易に行うことができる処理基板トレイを提供する。【解決手段】 処理基板トレイ1の吸着面と裏面との間に連通する貫通孔12を形成し、処理基板Wをセットした処理基板トレイ1をスピンドルチャック32で真空吸着する。ここに、処理基板トレイ1の吸着面の大きさが異なるものを数種類準備しておき、処理基板Wの形態に応じた処理基板トレイ1をアダプターとして適宜選択使用することにより、スピンドルチャック32を変更することなく、異なる大きさの処理基板Wを安定して吸引固着することができる。これにより、既存の設備に大幅な変更を加えることなく不定形な処理基板Wを自動処理することができる。
請求項（抜粋）：
半導体基板の製造工程における処理ユニット装置間を処理基板がハンドリングされる際に使用される処理基板トレイであって、前記処理基板トレイの表面に処理基板を吸着するための吸着面を形成し、前記吸着面と処理基板トレイの裏面との間を貫通孔により連通し、前記処理ユニット装置に具備されたスピンドルチャックに対して着脱自在に装着されることを特徴とする処理基板トレイ。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/68 U
, H01L 21/68 N
, H01L 21/30 503 C
, H01L 21/30 503 F
5F031CA02
, 5F031DA13
, 5F031EA01
, 5F031GA43
, 5F031HA13
, 5F031HA14
, 5F031MA26
, 5F046CD01
, 5F046CD06
, 5F046JA10
, 5F046JA22
, 5F046KA04
, 5F046KA07
