異物検査装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-098547
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292021
出願日： 1995年04月24日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】光学的検出精度としてのS/N比が良く、微小な異物まで検出可能な異物検査装置を提供する。【構成】被検査基板1に対してほぼ平行な軸を光軸となるようにS偏光レーザー光を照射する照明部(2、3、4、5)と、照明部により照射された領域を検出し被検査基板1とのなす角が45 ゚以内でかつ照明部の光軸とのなす角が20 ゚〜60 ゚の範囲に光軸が設定され、被検査基板1表面に付着した異物からの前方散乱成分中のS偏光成分を検出し光電変換する検出部(6、7、8、9)と、検出部により出力された信号を基に異物を検出する信号処理部(19、20、21)とを具備する。

請求項（抜粋）：

被検査対象の被検査面に対してほぼ平行な軸を光軸とするように配置され、前記被検査面に対してS偏光となるようにビームを照射する照明部と、前記照明部により照射された領域を検出し、前記照明部の光軸と前記被検査面との交点を中心として前記照明部の光軸を120 ゚〜160 ゚回転し、前記被検査面とのなす角が45 ゚以内となるように配置された光軸を有し、前記被検査面に付着した異物からの散乱成分中のS偏光成分を検出し、光電変換する検出部とを具備する異物検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/30 , G01N 21/88 , G06T 7/00 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 11/30 C , G01N 21/88 E , H01L 21/66 J , G06F 15/62 405 A

引用特許：

審査官引用 (6件)

異物検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-089767 出願人：株式会社ニコン
特開昭60-067845
異物検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-076453 出願人：松下電器産業株式会社

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