特許
J-GLOBAL ID：200903042092174433
FIB試料作製装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-248030
公開番号（公開出願番号）：特開2002-062226
出願日： 2000年08月18日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：
【要約】【課題】 TEM観察用試料作製の操作、作業性を向上させ、追加工を容易に行えるようにする。【解決手段】 収束イオンビームを用いてウエハ3の観察目標部分を局所的に切り出し透過電子顕微鏡により観察可能な試料12に加工するFIB試料作製装置であって、ウエハ3を載置して観察目標部分を局所的に切り出すウエハ用試料ステージ4と、切り出した試料12を装着して透過電子顕微鏡により観察可能な試料に加工するTEM試料ステージ6と、ウエハ用試料ステージ4で切り出した試料をつかみだしTEM試料ステージ6に固定するマニピュレータ5とをFIB試料室2内に備えると共に、ウエハ用試料ステージ4とTEM試料ステージ6は、お互いのステージが干渉せずFIB加工位置に移動可能とする移動機構を有する。
請求項（抜粋）：
収束イオンビームを用いてウエハの観察目標部分を局所的に切り出して透過電子顕微鏡により観察可能な試料に加工するFIB試料作製装置であって、ウエハを載置して観察目標部分を局所的に切り出すウエハ用試料ステージと、前記切り出した試料を装着して透過電子顕微鏡により観察可能な試料に加工するTEM試料ステージと、前記ウエハ用試料ステージで切り出した試料をつかみだし前記TEM試料ステージに固定するマニピュレータとをFIB試料室内に備えると共に、前記ウエハ用試料ステージと前記TEM試料ステージは、お互いのステージが干渉せずFIB加工位置に移動可能とする移動機構を有することを特徴とするFIB試料作製装置。
IPC (6件)：
G01N 1/28
, G01N 1/00 101
, G01N 1/32
, H01J 37/20
, H01J 37/30
, H01J 37/317
G01N 1/00 101 C
, G01N 1/32 B
, H01J 37/20 C
, H01J 37/30 Z
, H01J 37/317 D
, G01N 1/28 G
, G01N 1/28 F
5C001AA01
, 5C001CC01
, 5C001CC07
, 5C034AA02
, 5C034AB04
, 5C034DD05
