特許
J-GLOBAL ID：200903042118635078

転写方法および転写装置

発明者：
松尾 圭介

松尾 圭介 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-168018
公開番号（公開出願番号）：特開2006-344459
出願日： 2005年06月08日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：
【課題】装置構成の簡略化および小型化が可能な転写方法および転写装置を提供する。【解決手段】まず、支持基板の一主面側に発光層23を形成してなる転写用基板20を、発光層23を被転写基板10側に向けた状態で、被転写基板10上に重ね合わせる工程を行う。次に、被転写基板10上に転写用基板20を重ね合わせた状態で、被転写基板10と転写用基板20との間を真空雰囲気にする工程を行う。次いで、真空雰囲気下で転写用基板20にレーザ光源41からレーザ光を照射することにより、発光層23を被転写基板10に転写する工程を行うことを特徴とする転写方法である。また、この転写方法に用いる転写装置30である【選択図】図3
請求項（抜粋）：
支持基板の一主面側に転写層を形成してなる転写用基板を、前記転写層を被転写基板側に向けた状態で、当該被転写基板上に重ね合わせる工程と、 前記被転写基板上に前記転写用基板を重ね合わせた状態で、当該被転写基板と当該転写用基板との間を真空雰囲気にする工程と、 真空雰囲気下で前記転写用基板に輻射線を照射することにより、前記転写層を前記被転写基板に転写する工程とを有する ことを特徴とする転写方法。
IPC (2件)：
H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (2件)：
H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (5件)：
3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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