振動ジャイロ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：草野卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-327294
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166441
出願日： 1995年12月15日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【課題】振動体の支持部の断面を適正に設定して振動体の振動の振幅を大きくすると共に、支持部を損傷することのない振動ジャイロを提供する。【解決手段】半導体基板を加工して振動体2、フレーム部3、および振動体とフレーム部とを連結する支持部4より成るセンサチップ1を具備する振動ジャイロにおいて、支持部4はその長さ方向と直交する方向方向の厚さを等しくし、その中間部の上下方向の厚さを極く薄く構成し、センサチップ1のフレーム部3と同一形状寸法の板状部材に凹部81或は91を形成することにより枠部82或は92を形成し、凹部81或は91の深さは振動体2の振動を妨げることなく、かつ振動体2に過剰な機械的応力が加わった際に支持部4の変位を抑制する深さに設定した上蓋8および同型の下蓋9をフレーム部3に接合した振動ジャイロ。

請求項（抜粋）：

半導体基板を異方性エッチングにより加工して振動体、フレーム部、および振動体とフレーム部とを連結する支持部より成るセンサチップを具備する振動ジャイロにおいて、支持部はその長さ方向と直交する方向の厚さを等しくし、その振動体およびフレーム部に対する結合部を除く中間部の上下方向の厚さを極く薄く構成したことを特徴とする振動ジャイロ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (6件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-308902 出願人：日本航空電子工業株式会社
振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-128237 出願人：株式会社村田製作所
コリオリ力検出角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-083512 出願人：キヤノン株式会社

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