特許
J-GLOBAL ID：200903042215195295
異常変動予測方法及び異常変動予測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-184787
公開番号（公開出願番号）：特開平10-031511
出願日： 1996年07月15日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：
【要約】【課題】 近い未来における監視対象の状態を予測する際に比較対象の変動パターンを用いることなく、近い未来に監視対象の状態が大きく変化することを予測できるようにする。【解決手段】 本装置は、監視対象の状態を観測する測定器11と、測定器11が収集した測定値を記録する外部記憶装置12と、監視対象の状態が大きく変化することを予測する解析装置13と、予測結果を表示する表示手段14とを備えている。解析装置13は、時間とともに変動する測定値の時系列データを作成する時系列データ作成手段13aと、時系列データに対して離散フーリエ変換を行ない、周波数成分を算出する周波数成分算出手段13bと、監視対象の状態が大きく変化する兆候として現われる周波数成分の特徴的な変化を検出する異常変動検出手段13cとを有している。
請求項（抜粋）：
測定対象とするデータの値が大きく変化することを予測する異常変動予測方法であって、測定値が時間とともに変化する時系列データにおける変動周期の周波数成分を算出する周波数成分算出工程と、前記周波数成分の変化量を検出し、検出した周波数成分の変化量である検出変化量があらかじめ設定した変化量である許容変化量の範囲内であるか否かを判断し、前記検出変化量が前記許容変化量の範囲内にないときには、測定値が大きく変動する兆候であると判定する異常変動検出工程とを備えていることを特徴とする異常変動予測方法。
IPC (3件)：
G05B 23/02
, G01D 21/00
, H01L 21/66
G05B 23/02 R
, G01D 21/00 Q
, H01L 21/66 Z
, H01L 21/66 J
