特許
J-GLOBAL ID：200903042273019065
研磨剤供給装置および研磨剤供給方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-033547
公開番号（公開出願番号）：特開2006-035411
出願日： 2005年02月09日
公開日（公表日）： 2006年02月09日
要約：
【課題】 被研磨面上の研磨傷を低減する研磨剤供給装置を提供する。【解決手段】 研磨剤供給装置10は、研磨剤を蓄える研磨剤タンク11と、前記研磨剤タンクから供給される研磨剤9を一定量毎に研磨剤供給路15cへ送出する蠕動ポンプ13と、前記研磨剤供給路に配設された切替え弁14と、前記切替え弁を介して前記研磨剤供給路から分岐する廃液路16と、を備える。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
研磨剤を蓄える研磨剤タンクと、
前記研磨剤タンクから供給される研磨剤を一定量毎に研磨剤供給路へ送出する蠕動ポンプと、
前記研磨剤供給路に配設された切替え弁と、
前記切替え弁を介して前記研磨剤供給路から分岐する廃液路と、
を備えることを特徴とする研磨剤供給装置。
IPC (3件)：
B24B 57/02
, B24B 37/00
, H01L 21/304
B24B57/02
, B24B37/00 K
, H01L21/304 622E
3C047FF08
, 3C047GG20
, 3C058AA07
, 3C058AC04
, 3C058CA01
, 3C058CB02
, 3C058DA12
